Metóda technológie prípravy suroviny magnetrónového naprašovania titánového terča sa dá rozdeliť do dvoch kategórií podľa výrobného procesu: predvalok na tavenie elektrónovým lúčom (označovaný ako predvalok EB) a predvalok na tavenie predvalkov z vákuovej elektrickej oblúkovej pece (označovaný ako predvalok (VAR) ).
Počas procesu prípravy terča je okrem prísnej kontroly čistoty, hustoty, veľkosti zŕn a kryštálovej orientácie materiálu potrebné prísne kontrolovať aj podmienky procesu tepelného spracovania a následné procesy formovania, aby sa zabezpečila kvalita terča.
Pre suroviny titánu s vysokou čistotou sa tavná elektrolýza zvyčajne používa na odstránenie nečistôt s vysokou teplotou topenia v titánovej matrici a potom sa na ďalšie čistenie používa tavenie vákuovým elektrónovým lúčom.
Vákuové tavenie elektrónovým lúčom využíva vysokoenergetické elektrónové lúče na bombardovanie povrchu kovu a potom sa teplota postupne zvyšuje, kým sa kov neroztopí. Prvky s vysokým tlakom pár budú prednostne prchať, zatiaľ čo prvky s nízkym tlakom pár zostávajú v tavenine. Interakcia medzi prvkami nečistôt a matricou Čím väčší je rozdiel v tlaku pary, tým lepší je čistiaci účinok.
Výhodou vákuovej rafinácie po roztavení je odstránenie prvkov nečistôt z titánovej matrice bez vnášania iných nečistôt. Preto, keď sa 99,99 % elektrolytického titánu roztaví elektrónovým lúčom v prostredí vysokého vákua (nad 10-4), nečistoty (Fe, Co, Cu) v surovine, ktorej tlak nasýtených pár je vyšší ako tlak nasýtených pár tlak samotného titánového prvku bude prednostne prchať. Znížte obsah nečistôt v matrici, aby ste dosiahli účel čistenia.
Kombináciou týchto dvoch metód je možné získať vysoko čistý titánový kov s čistotou vyššou ako 99,995. Pre titánové suroviny s čistotou 99,9 % sa často používa špongiový titán triedy 0, ktorý sa taví vo vákuovej spotrebnej elektrickej oblúkovej peci a potom sa kuje za tepla, aby sa vytvoril predvalok malej veľkosti. Kovové titánové suroviny pripravené týmito dvoma metódami riadia mikroštruktúru celého naprašovacieho povrchu tak, aby bola konzistentná prostredníctvom termomechanickej deformácie, a potom sa spracujú na magnetrónové naprašovacie titánové terče na prípravu integrovaných obvodov procesmi, ako je obrábanie, viazanie, čistenie a balenie.
